他辭去海外終身職位 帶整建制團隊回國攻堅半導體
為此，達博在數學和物理層面花費了很多時間和精力進行證明。達博進壹步解釋道：“學術界更看重的是方法創新，假如在 100 次實驗中成功壹次可能就可以發表論文，但產業界的期望是 100 次實驗中壹次失敗都不要有。”
圖丨“白色電子”方法的可視化（來源：Nature Communications）
這種學術與產業的認知差異，也讓達博在先進制程量產研發中有了更深體悟，其中就包括台積電 3 nm 產線關鍵部件研發。在他看來，成熟制程與先進制程的本質區別是，前者是“長板驅動”，即追求某幾個關鍵部件的極致性能，其他部件的問題是可以被掩蓋的；而後者是“短板致死”，尤其是在量產線上，整個裝備中尤其是工作在等離子體、腐蝕氣體、高溫或高真空的所有材料與部件，其任何微弱的影響都可能破壞整體性能的表現。這就像是牽壹發而動全身，因此先進制程在量產線上，是壹個不斷對部件找問題、找方案的過程。
在這個過程中，達博意識到壹個更根本的問題：現有電子束設備中，可被有效利用的電子束流比例極低。要突破這壹瓶頸，必須從材料本身的結構入手。為此，達博制備出圓柱對稱旋轉晶體
（CSRC，cylindrical symmetric rotating crystals）[4]，並開創衍射電子光學
領域，NIMS 時任理事長橋本和仁（Kazuhito Hashimoto）評價這項成果為“具有與准晶發現相當的原創性意義”。
（來源：Science and Technology of Advanced Materials: Methods）
在傳統認知中，認為有序的材料就是晶體，例如單晶和多晶等。2011 年諾貝爾化學獎授予了壹種短程無序、長程有序的材料——准晶（Quasicrystal）。圓柱對稱旋轉晶體與准晶類似，不同點在於，准晶需要旋轉後再平移，而圓柱對稱旋轉晶體是與單晶、准晶同體系下的新結構，它不需要平移，僅需旋轉即可實現原子排序，這是在球坐標下對稱性最高的狀態。
這種新結構的獨特之處在於，改變了電子與材料相互作用的方式。傳統電子束依賴電場和磁場調控，如同用磁鐵去約束肆處飛濺的水花。但是，電子發射大多數情況下發散分布，比如熱場發射燈絲，發射的電子束流是毫安量級（10-3），但真正又細又直、能被探測到的往往只有納安量級（10-9），中間差了百萬倍。
而圓柱對稱旋轉晶體是衍射方式約束聚焦，對電子的方向和速度都不敏感。它利用衍射效應，類似於光學中利用衍射透鏡對光線進行聚焦，把原本發散電子的方向重新約束起來，從而讓薄膜材料也具備了類似電子凸透鏡的功能。至此，類比光學中的衍射光學分支，這壹材料的誕生，使電子光學領域中，多了衍射電子光學這壹細分領域。
據理論估算，即使是非單色，非准直的電子束穿過圓柱對稱旋轉晶體，在恰當的條件下，其聚焦效率可以接近 1%，如果采用塊體電子發射源，其可被有效聚焦利用的束流強度，理論上有望比傳統方案提高數萬倍甚至拾萬倍。未來如果該方法可行，並行電子束曝光機的效率將有機會超過現有的 EUV，進而有望改變整個半導體行業的生態。
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圖丨“白色電子”方法的可視化（來源：Nature Communications）
這種學術與產業的認知差異，也讓達博在先進制程量產研發中有了更深體悟，其中就包括台積電 3 nm 產線關鍵部件研發。在他看來，成熟制程與先進制程的本質區別是，前者是“長板驅動”，即追求某幾個關鍵部件的極致性能，其他部件的問題是可以被掩蓋的；而後者是“短板致死”，尤其是在量產線上，整個裝備中尤其是工作在等離子體、腐蝕氣體、高溫或高真空的所有材料與部件，其任何微弱的影響都可能破壞整體性能的表現。這就像是牽壹發而動全身，因此先進制程在量產線上，是壹個不斷對部件找問題、找方案的過程。
在這個過程中，達博意識到壹個更根本的問題：現有電子束設備中，可被有效利用的電子束流比例極低。要突破這壹瓶頸，必須從材料本身的結構入手。為此，達博制備出圓柱對稱旋轉晶體
（CSRC，cylindrical symmetric rotating crystals）[4]，並開創衍射電子光學
領域，NIMS 時任理事長橋本和仁（Kazuhito Hashimoto）評價這項成果為“具有與准晶發現相當的原創性意義”。
（來源：Science and Technology of Advanced Materials: Methods）
在傳統認知中，認為有序的材料就是晶體，例如單晶和多晶等。2011 年諾貝爾化學獎授予了壹種短程無序、長程有序的材料——准晶（Quasicrystal）。圓柱對稱旋轉晶體與准晶類似，不同點在於，准晶需要旋轉後再平移，而圓柱對稱旋轉晶體是與單晶、准晶同體系下的新結構，它不需要平移，僅需旋轉即可實現原子排序，這是在球坐標下對稱性最高的狀態。
這種新結構的獨特之處在於，改變了電子與材料相互作用的方式。傳統電子束依賴電場和磁場調控，如同用磁鐵去約束肆處飛濺的水花。但是，電子發射大多數情況下發散分布，比如熱場發射燈絲，發射的電子束流是毫安量級（10-3），但真正又細又直、能被探測到的往往只有納安量級（10-9），中間差了百萬倍。
而圓柱對稱旋轉晶體是衍射方式約束聚焦，對電子的方向和速度都不敏感。它利用衍射效應，類似於光學中利用衍射透鏡對光線進行聚焦，把原本發散電子的方向重新約束起來，從而讓薄膜材料也具備了類似電子凸透鏡的功能。至此，類比光學中的衍射光學分支，這壹材料的誕生，使電子光學領域中，多了衍射電子光學這壹細分領域。
據理論估算，即使是非單色，非准直的電子束穿過圓柱對稱旋轉晶體，在恰當的條件下，其聚焦效率可以接近 1%，如果采用塊體電子發射源，其可被有效聚焦利用的束流強度，理論上有望比傳統方案提高數萬倍甚至拾萬倍。未來如果該方法可行，並行電子束曝光機的效率將有機會超過現有的 EUV，進而有望改變整個半導體行業的生態。
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