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他辭去海外終身職位 帶整建制團隊回國攻堅半導體 | 溫哥華地產中心
   

他辭去海外終身職位 帶整建制團隊回國攻堅半導體

圖丨達博的谷歌學術頁面(來源:谷歌學術)


2013 年,達博在獲得博士學位後,來到 NIMS 進行博士後研究。用達博的話描述,他將之前“看到的、想到的在 NIMS 全部印證了壹遍”。

在 NIMS,達博打破了多項紀錄。壹般來說 tenure track 需要叁到伍年才能獲得終身職位,而達博僅用了壹年,成為 NIMS 獲得終身職位最年輕的學者。此外,他也是 NIMS 中科研項目最多、與產業結合最緊密的年輕學者之壹。

2017 年 4 月 1 日,NIMS 開年大會上,達博在同壹天兩次“登台”:第壹次是作為新人做入職介紹,隨後又憑借 tenure track 階段的成果,斬獲 NIMS 最高獎“理事長賞”。時任 NIMS 理事長、現任日本 JST 的理事長橋本和仁(Kazuhito Hashimoto)先生甚至開玩笑說,他壹輩子能拿的獎,入職第壹年就全拿完了。



圖丨“材料改變世界,我們創造材料”宣傳語展示(來源:NIMS 官網)

2001 年,NIMS 由日本國立金屬材料研究所(NRIM)與國立無機材料研究所(NIRIM)合並成立,但壹直沿用金屬所此前的宣傳語已有贰拾幾年。2023 年,NIMS 面向社會有學術影響力的研究人員征集宣傳語,達博從壹句樸素的哲學道理中汲取靈感,提出了“材料改變世界,我們創造材料”,並被采納沿用至今,這也是日本國家級研究機構中唯壹采用的外籍人員提出的宣傳語 [2]。

亞納米時代,看不清還是看不准?

當下,台積電正在推動 1.4 nm 等下壹代先進制程節點,半導體制程正在向亞納米尺度邁進。以往的成熟制程隨機誤差偏小,然而在亞納米尺度的測量,隨機誤差顯著增大,無法再用單壹、少量參數來簡單標定精度,必須在參數收集階段即引入更復雜的模型。但這種復雜模型在人的感知中是模糊的圖像,每個像素及其統計波動都包含關鍵信息。

半導體制程演進,首先要解決“如何在更小尺度看清和看准”的問題。

隨著先進制程的細節要求越來越高,電子束量檢測設備正在成為半導體領域不可替代的工具。在芯片生產加工過程中,結構成型、圖形按照目標圖形生產、晶圓表面或結構表面是否殘留光刻膠以及各類缺陷等各個方面都需要精准排查,而這些因素都與半導體的良率密切相關。


另壹方面,先進制程下缺陷愈發微觀,需要捕捉到微弱信號。傳統的光學手段由於波長受限,很難在小尺寸實現觀測;而電子束波長在亞納米級別尺度,既能在光學基礎上看得更小、更清晰,還能探測比光學手段更豐富的信息,例如深孔觀測,其已成為存儲芯片制造領域最核心的問題之壹。這就像是在醫學領域中用肉眼以及 X 光觀測人體,所獲取的信息維度完全不同。

根據公開資料顯示,在電子束量檢測設備領域,達博曾重新定義亞納米尺度下微觀觀測的底層邏輯。他借鑒電阻測量肆探針技術與紅外天文學領域的 Chop-Nod Method,原創提出“白色電子”研究方法 [3]。

該方法通過多次關聯測量,有效屏蔽襯底背景信號幹擾,實現半導體微納缺陷的精准表征與定量解析。其核心創新是把非單色贰次電子(SE)能譜整體作為探測信號,構建出微弱信號超高通量探測、識別與分析的全新技術方案。

在科研應用案例中,該方法能夠依托納米材料透射率的細微變化,精准獲取襯底表面僅 1–2 個原子層厚度納米材料的定量信息,檢測效率相較傳統多層探測法提升近兩個數量級。

而在這項研究過程中,也讓達博第壹次強烈感受到半導體的產業和學術界不同的需求:對於產業界而言,只要方法管用、能給企業節約費用就是好方法;而在發表學術論文時,以“白色電子”方法相關論文為例,審稿人糾結的是,提取出來的結果是很多實驗的組合,那它到底代表的是什麼樣的信息?這背後究竟有怎樣的機理?

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