[北京] 8000人小鎮扼住北京脖子!最狠打臉文點出關鍵

中國傳出突破技術門檻打造出EUV原型機,被視為中國版“曼哈頓計劃”,引起業界關注。由於中國未能取得德商蔡司(Carl Zeiss)的光學系統,這是無法動搖半導體設備巨擘ASML(艾司摩爾) EUV的關鍵原因。


荷媒強調,ASML 的秘密武器就是蔡司的鏡子,蔡司是 ASML 光學系統的唯壹供應商。現今市面上所有新款手機與電腦設備中最強大的芯片,毫無例外都是由 ASML 的設備生產,這些設備若缺乏蔡司的光學技術,根本無法運作。

荷蘭《電訊報》(De Telegraaf)報道,在德國南部的小鎮奧伯科亨(Oberkochen),隱藏著荷蘭半導體設備巨頭 ASML 能在未來幾年維持霸權地位的最重要籌碼,那就是與光學專家蔡司(Carl Zeiss AG)的深度合作。在追求效率的荷蘭人催促下,德國人正不斷挑戰物理學極限,投入壹場研發更精微技術、打造更強大芯片的全球競賽。

報道說,這座僅有約 8000 名居民的小鎮,實際上掌控了全球電腦運算力進化的節奏。蔡司公司是 ASML 光學系統的唯壹供應商。現今市面上所有新款手機與電腦設備中最強大的芯片,毫無例外都是由 ASML 的設備生產,而這些設備若缺乏蔡司的光學技術,根本無法運作。

為了制造先進芯片,最先進的 ASML 曝光機使用了波長僅 13.5 奈米的極紫外光(EUV)。盡管中國此前宣稱已成功復制 ASML 的 EUV,打造出EUV原型機,但光學系統依然是中國最難以跨越的障礙。

蔡司半導體光學元件制造總裁亨舍(Christoph Hensche)指出:“ASML 的設備能將芯片圖案縮小到什麼程度,很大程度上取決於光學系統提升解析度的能力。這意味著,我們的反射鏡就是整個系統的心髒。”

在蔡司總部的展示櫃中,壹個 EUV 反射鏡樣本看起來平凡無奇。然而,它的物理精度比壹般浴室鏡子高出 5萬倍。在實際的 ASML 設備中,包含多面這類反射鏡,其中最大的壹面直徑達 1.2 米,重量達 400 公斤。

亨舍生動地描述這種極致精度,他說,“這意味著,我們能透過這面反射鏡,利用雷射光精准擊中月球上的壹顆高爾夫球。”

報道提及,蔡司與 ASML 的戰友關系始於 1980 年代,當時 ASML 剛從飛利浦(Philips)獨立。1990 年代,當 ASML 決定投入數億歐元於當時商業前景不明的 EUV 技術時,蔡司也義無反顧地加入。

亨舍回憶:“我們共同經歷了許多艱難時刻,特別是 2008 年金融海嘯前後,但我們總能找到解決方案。”他認為,德國式的“嚴謹”與 ASML “務實”的文化互補得很好。他強調,“ASML 天生更願意承擔風險,而我們則傾向深入分析、穩扎穩打。但我們最終還是選擇共同冒險,因為雙方都知道,產品必須在正確的時間推向市場,通常是愈快愈好。”


為了鞏固這段關系,ASML 於 2016 年斥資 10 億歐元收購了蔡司半導體業務24.9% 的股份。目前 ASML 第贰代 EUV 曝光機的核心改進,便仰賴蔡司技術的持續突破,特別是提升光學系統的數值孔徑(NA)。

雖然下壹代技術“Hyper-NA”已在規劃中,但亨舍強調,光學系統的改良並非全部。ASML 在光源、組件精度與系統設計上同樣投入巨大努力。

對於“ASML 離不開蔡司,但蔡司理論上可以離開 ASML”的觀點,亨舍坦言理論上雖然成立,但蔡司並不想離開 ASML。他強調,雙方非常珍惜這段長期的合作伙伴關系,以及共同創造的商業奇跡。



蔡司半導體制造部門位於奧伯科亨的總部。圖片:蔡司

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