为何中国无法逆向EUV 专家解密:那不是砸钱工程
EUV运作时会产生高热，镜头会热膨胀，机台会微幅变形。ASML的感测器遍布机身，即时监控这些微小的物理变化，并透过演算法即时调整镜头位置与雷射功率进行补偿。
中国目前的困境在于，他们或许能写出控制机械手臂动作的程式，但无法写出这种“基于几十年物理数据累积”的补偿演算法。这些数据是ASML在过去30年里，透过无数次失败累积下来的“工业直觉”。没有这些参数，光有硬件，就像给了一个刚拿到驾照的新手一台F1赛车，他连起步都会熄火。
EUV是ASML与台积电共同养出的怪兽
最后，也是最残酷的一点，EUV根本不是ASML一家公司造出来的。Eric Lin称，EUV是ASML与全球顶尖客户（尤其是台积电）共同“养”出来的怪兽。一台新机器的原型机往往充满缺陷，只有放到台积电这种对良率有着变态要求的工厂里，24小时不间断地运转，才能暴露出隐藏的问题。
台积电的工程师经常发现连ASML自己都没发现的Bug，比如某个特定角度的曝光会造成边缘模糊，或是某个频率的震动会影响对准精度。这些来自第一线的“反馈数据”，是ASML修正机器、最佳化下一代产品的养分，于是形成正循环：台积电用得越多，ASML 改得越好；ASML 改得越好，台积电良率越高。
反观中国，连DUV微影机都还没能完全吃透，良率控制依旧成谜。在缺乏顶级制程回馈的前提下，试图凭空打造EUV的控制逻辑，这不叫研发，而是盲人摸象。
连走路（DUV）都还会跌倒，就想要学飞（EUV），中国弯道超车最后却翻车的案例太多了，就连电动车产业，最近中国车厂也接连翻车，都是因为没彻底抄，还自作聪明以为可以省略范本中的"多余"部份。
最后，Eric Lin做出结论，称中国或许能用钱砸出光学镜片，也能挖角工程师做出雷射光源，甚至能组装出一个外型一模一样的EUV空壳。但那个结合了德国光学、美国光源、荷兰系统整合，以及台湾制程工艺的复杂生态系，是无法被单一国家复刻的。
这不是看不起中国的制造能力，而是对工业文明积累的敬畏。在物理学与供应链的铁律面前，民族主义的热情，终究得让位给冷冰冰的良率数据。
目前中国砸重金都复制不出台积电在DUV时代的光荣，同样用多重显影，良率只有当年台积电的5分之1，现在还想要复制EUV？
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好新闻没人评论怎么行，我来说几句
中国目前的困境在于，他们或许能写出控制机械手臂动作的程式，但无法写出这种“基于几十年物理数据累积”的补偿演算法。这些数据是ASML在过去30年里，透过无数次失败累积下来的“工业直觉”。没有这些参数，光有硬件，就像给了一个刚拿到驾照的新手一台F1赛车，他连起步都会熄火。
EUV是ASML与台积电共同养出的怪兽
最后，也是最残酷的一点，EUV根本不是ASML一家公司造出来的。Eric Lin称，EUV是ASML与全球顶尖客户（尤其是台积电）共同“养”出来的怪兽。一台新机器的原型机往往充满缺陷，只有放到台积电这种对良率有着变态要求的工厂里，24小时不间断地运转，才能暴露出隐藏的问题。
台积电的工程师经常发现连ASML自己都没发现的Bug，比如某个特定角度的曝光会造成边缘模糊，或是某个频率的震动会影响对准精度。这些来自第一线的“反馈数据”，是ASML修正机器、最佳化下一代产品的养分，于是形成正循环：台积电用得越多，ASML 改得越好；ASML 改得越好，台积电良率越高。
反观中国，连DUV微影机都还没能完全吃透，良率控制依旧成谜。在缺乏顶级制程回馈的前提下，试图凭空打造EUV的控制逻辑，这不叫研发，而是盲人摸象。
连走路（DUV）都还会跌倒，就想要学飞（EUV），中国弯道超车最后却翻车的案例太多了，就连电动车产业，最近中国车厂也接连翻车，都是因为没彻底抄，还自作聪明以为可以省略范本中的"多余"部份。
最后，Eric Lin做出结论，称中国或许能用钱砸出光学镜片，也能挖角工程师做出雷射光源，甚至能组装出一个外型一模一样的EUV空壳。但那个结合了德国光学、美国光源、荷兰系统整合，以及台湾制程工艺的复杂生态系，是无法被单一国家复刻的。
这不是看不起中国的制造能力，而是对工业文明积累的敬畏。在物理学与供应链的铁律面前，民族主义的热情，终究得让位给冷冰冰的良率数据。
目前中国砸重金都复制不出台积电在DUV时代的光荣，同样用多重显影，良率只有当年台积电的5分之1，现在还想要复制EUV？
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