为何中国无法逆向EUV 专家解密:那不是砸钱工程




《路透》日前披露,中国招聘ASML前工程师,试图以逆向工程打造出EUV设备,引发外界关注。(路透)

EUV被喻为“外星科技”

《路透》日前披露,中国招聘荷兰半导体设备巨头ASML前工程师,以逆向工程打造出华府耗费多年,阻止中国取得的半导体制造设备极紫外光曝光机(EUV;Extreme Ultraviolet)原型机,引发外界关注。对此,数位创作者Eric Lin表示看法,认为中国此举这不只是对技术的误解,更是对统计学的公然挑战,并指中国“钱能解决一切”的土豪逻辑,面对EUV这台被喻为“外星科技”的集合体时,只会撞得头破血流。

Eric Lin周六(20日)在脸书发文指出,中国现在试图集合几百个挖角来的前ASML中国籍工程师,意图复制这项从研发初期至今、全球累积超过数十万名顶尖大脑的智慧总和。这不仅是对技术的不敬,更是对统计学的蔑视。

即便我们退一万步假设,中国倾尽举国之力,透过各种灰色管道凑齐零组件,真的在上海北京某个无尘室里,组装出了一台“长得像”EUV的机器:它有巨大的白色外壳,有传送晶圆的轨道,甚至开机时还会发出类似的运转声。但这台机器的命运,注定只能是一个昂贵的工业模型,而不是能印钞票的曝光机。

为什么?原因很简单,因为EUV从来就不是乐高积木。Eric Lin称,把特斯拉拆散了,或许能依样画葫芦造出能跑的电动车;但把ASML的EUV拆散了,你只能得到一堆几十亿台币的废铁。这不是关於单一零件的逆向工程,这是一场关于“极限整合”与“隐性知识”的物理学障碍赛。

一般人看EUV,只看到德国蔡司的镜头、美国Cymer的光源。这当然没错,但那只是冰山露出水面的那一角。真正无法复制的,是 ASML 如何让来自全球、超过十万个顶级零组件,在奈米尺度下精准协作。

试着想像这个场景:你要用雷射在几十米外击中一颗正在掉落的苹果,而且要连续击中5万次。这还不够,这颗苹果本身还在一个高速旋转的转盘上。这就是EUV内部的真实写照。

除了光学系统,EUV内部必须维持“极度真空”。因为极紫外光的波长极短,空气中任何一点气体分子都会把光线吸收殆尽。这意味着ASML必须打造一个比外太空还要干净的真空腔体,而且在这个腔体内,还有高速移动的工件台在运作。而这直接引出了另一个被低估的技术黑洞—双工件台系统(Twinscan)。


Eric Lin称,要在晶圆上刻电路,晶圆台移动的速度快得惊人,且急停急煞的加速度极大。中国目前连在常压下控制这种精度的机械手臂都还不稳定,更别提在真空中利用磁悬浮技术,去驱动2个重达几吨的工件台进行“华尔兹”。这2个台子一个在曝光,另一个在测量,彼此切换的时间是以毫秒计算,误差必须控制在奈米等级。

“动态整合能力”差0.001秒 雷射就会打偏

只要震动稍微大一点点,或者磁悬浮的控制演算法稍微慢了0.001秒,雷射就会打偏,整片价值数万美元的晶圆就直接报销。这种“动态整合能力”,不是买几张蓝图就能学会的。

Eric Lin称,如果说硬件是骨架,那软件就是灵魂。这正是中国最感到无力的地方,即便他们透过高薪挖角,找来了那些曾经参与组装的前ASML中国工程师,也无济于事。这些人或许能凭借记忆,教你怎么把这堆复杂的乐高积木拼起来;他们看过图纸,知道骨架怎么搭、外壳怎么锁,甚至能完美复刻出机台的物理外型。但这就是极限了。因为他们抄到了肉体,却注定抄不到灵魂。

Eric Lin表示,EUV内部运行着超过5000万行的控制程式码,规模甚至超过波音787,这套软件系统不是单纯的“开关控制”,它是一套具备自我修正能力的超级大脑。

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