为何中国无法逆向EUV 专家解密:那不是砸钱工程
《路透》日前披露，中国招聘ASML前工程师，试图以逆向工程打造出EUV设备，引发外界关注。（路透）
EUV被喻为“外星科技”
《路透》日前披露，中国招聘荷兰半导体设备巨头ASML前工程师，以逆向工程打造出华府耗费多年，阻止中国取得的半导体制造设备极紫外光曝光机（EUV；Extreme Ultraviolet）原型机，引发外界关注。对此，数位创作者Eric Lin表示看法，认为中国此举这不只是对技术的误解，更是对统计学的公然挑战，并指中国“钱能解决一切”的土豪逻辑，面对EUV这台被喻为“外星科技”的集合体时，只会撞得头破血流。
Eric Lin周六（20日）在脸书发文指出，中国现在试图集合几百个挖角来的前ASML中国籍工程师，意图复制这项从研发初期至今、全球累积超过数十万名顶尖大脑的智慧总和。这不仅是对技术的不敬，更是对统计学的蔑视。
即便我们退一万步假设，中国倾尽举国之力，透过各种灰色管道凑齐零组件，真的在上海或北京某个无尘室里，组装出了一台“长得像”EUV的机器：它有巨大的白色外壳，有传送晶圆的轨道，甚至开机时还会发出类似的运转声。但这台机器的命运，注定只能是一个昂贵的工业模型，而不是能印钞票的曝光机。
为什么？原因很简单，因为EUV从来就不是乐高积木。Eric Lin称，把特斯拉拆散了，或许能依样画葫芦造出能跑的电动车；但把ASML的EUV拆散了，你只能得到一堆几十亿台币的废铁。这不是关於单一零件的逆向工程，这是一场关于“极限整合”与“隐性知识”的物理学障碍赛。
一般人看EUV，只看到德国蔡司的镜头、美国Cymer的光源。这当然没错，但那只是冰山露出水面的那一角。真正无法复制的，是 ASML 如何让来自全球、超过十万个顶级零组件，在奈米尺度下精准协作。
试着想像这个场景：你要用雷射在几十米外击中一颗正在掉落的苹果，而且要连续击中5万次。这还不够，这颗苹果本身还在一个高速旋转的转盘上。这就是EUV内部的真实写照。
除了光学系统，EUV内部必须维持“极度真空”。因为极紫外光的波长极短，空气中任何一点气体分子都会把光线吸收殆尽。这意味着ASML必须打造一个比外太空还要干净的真空腔体，而且在这个腔体内，还有高速移动的工件台在运作。而这直接引出了另一个被低估的技术黑洞—双工件台系统（Twinscan）。
Eric Lin称，要在晶圆上刻电路，晶圆台移动的速度快得惊人，且急停急煞的加速度极大。中国目前连在常压下控制这种精度的机械手臂都还不稳定，更别提在真空中利用磁悬浮技术，去驱动2个重达几吨的工件台进行“华尔兹”。这2个台子一个在曝光，另一个在测量，彼此切换的时间是以毫秒计算，误差必须控制在奈米等级。
“动态整合能力”差0.001秒 雷射就会打偏
只要震动稍微大一点点，或者磁悬浮的控制演算法稍微慢了0.001秒，雷射就会打偏，整片价值数万美元的晶圆就直接报销。这种“动态整合能力”，不是买几张蓝图就能学会的。
Eric Lin称，如果说硬件是骨架，那软件就是灵魂。这正是中国最感到无力的地方，即便他们透过高薪挖角，找来了那些曾经参与组装的前ASML中国工程师，也无济于事。这些人或许能凭借记忆，教你怎么把这堆复杂的乐高积木拼起来；他们看过图纸，知道骨架怎么搭、外壳怎么锁，甚至能完美复刻出机台的物理外型。但这就是极限了。因为他们抄到了肉体，却注定抄不到灵魂。
Eric Lin表示，EUV内部运行着超过5000万行的控制程式码，规模甚至超过波音787，这套软件系统不是单纯的“开关控制”，它是一套具备自我修正能力的超级大脑。
EUV运作时会产生高热，镜头会热膨胀，机台会微幅变形。ASML的感测器遍布机身，即时监控这些微小的物理变化，并透过演算法即时调整镜头位置与雷射功率进行补偿。
中国目前的困境在于，他们或许能写出控制机械手臂动作的程式，但无法写出这种“基于几十年物理数据累积”的补偿演算法。这些数据是ASML在过去30年里，透过无数次失败累积下来的“工业直觉”。没有这些参数，光有硬件，就像给了一个刚拿到驾照的新手一台F1赛车，他连起步都会熄火。
EUV是ASML与台积电共同养出的怪兽
最后，也是最残酷的一点，EUV根本不是ASML一家公司造出来的。Eric Lin称，EUV是ASML与全球顶尖客户（尤其是台积电）共同“养”出来的怪兽。一台新机器的原型机往往充满缺陷，只有放到台积电这种对良率有着变态要求的工厂里，24小时不间断地运转，才能暴露出隐藏的问题。
台积电的工程师经常发现连ASML自己都没发现的Bug，比如某个特定角度的曝光会造成边缘模糊，或是某个频率的震动会影响对准精度。这些来自第一线的“反馈数据”，是ASML修正机器、最佳化下一代产品的养分，于是形成正循环：台积电用得越多，ASML 改得越好；ASML 改得越好，台积电良率越高。
反观中国，连DUV微影机都还没能完全吃透，良率控制依旧成谜。在缺乏顶级制程回馈的前提下，试图凭空打造EUV的控制逻辑，这不叫研发，而是盲人摸象。
连走路（DUV）都还会跌倒，就想要学飞（EUV），中国弯道超车最后却翻车的案例太多了，就连电动车产业，最近中国车厂也接连翻车，都是因为没彻底抄，还自作聪明以为可以省略范本中的"多余"部份。
最后，Eric Lin做出结论，称中国或许能用钱砸出光学镜片，也能挖角工程师做出雷射光源，甚至能组装出一个外型一模一样的EUV空壳。但那个结合了德国光学、美国光源、荷兰系统整合，以及台湾制程工艺的复杂生态系，是无法被单一国家复刻的。
这不是看不起中国的制造能力，而是对工业文明积累的敬畏。在物理学与供应链的铁律面前，民族主义的热情，终究得让位给冷冰冰的良率数据。
目前中国砸重金都复制不出台积电在DUV时代的光荣，同样用多重显影，良率只有当年台积电的5分之1，现在还想要复制EUV？
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