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中國宣布突破28奈米?被"卡脖子"是真的 | 溫哥華教育中心
   

中國宣布突破28奈米?被"卡脖子"是真的

19日,山東濱華集團宣布正式開始生產純度達99.9999%的6N級“半導體用高純氫氟化物”,目標是28納米以下的先進工藝,並已建立每年50噸鋼筒充填生產線。 同日,公司宣布推出“超高純度電子級氫氟酸”產品,稱已采用14nm工藝技術向客戶推出,旨在減少對先進半導體材料進口的依賴。




據新浪財經報道,7月19日,北昆項目——賓華集團電子級高純氟化氫氣生產及新產品發布會——舉行。6N級(99.9999%)半導體所用高純氟化氫的壟斷打破了壟斷,為先進國產工藝提供了穩定安全的定位保障,為中國半導體產業和供應鏈築起了堅實的“安全屏障”!

賓華集團特種化學品部總經理劉騰表示,從5N增加到6N不僅僅是對淨化程序的補充,而是壹種全新的淨化系統。 6N意味著純度達到99.9999%,每百萬分子中不超過壹個雜質。

高純度氟化氫主要用於晶圓蝕刻和清洗。其純度和穩定性影響芯片的良率和性能,在中國大陸被稱為“芯片切割機”。 據報道,6N級產品適用於28納米以下的先進工藝。過去,中國長期依賴進口,市場價格超過每噸200萬元人民幣

賓華集團披露,已采用多重蒸餾耦合系統去除水、贰氧化碳和含氧有機物等雜質,並自主開發密封采樣和高靈敏度檢測方案。已完成50噸年產高純氫氟化物鋼瓶加注管線的建設和測試,並獲得燃氣瓶充填許可。


同日發布的超高純電子級氫氟酸由賓華集團與天津大學聯合開發,主要用於濕法工藝。 賓華集團強調,該產品的性能指標超越了SEMI-G5級,並已采用14納米先進工藝向客戶推送。



▲ 中國大陸半導體關鍵國產材料的新突破。 (照片/截圖來自新浪財)

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