台积电美国厂罕见开箱片 「银色高速公路」太震撼

晶圆制造巨擘台积电(TSMC)罕见地向外界揭露了其位于美国亚利桑那州的「Fab 21晶圆厂」的内部实况,其中最引人注目的莫过于被誉为「银色高速公路」的晶圆自动化物料搬运系统(AMHS),以及极紫外光(EUV)微影设备的详细运作流程,其运作时所散发出的紫色电浆光芒,宛如一座持续发光的「小宇宙」。


I like how $TSM posted a video about its new Arizona Fab, where they explain how chips are made using EUV equipment from $ASML, and they even include small clips provided by $ASML.

"to be able to do this is incredibly difficult. We are using extreme ultraviolet technologies… pic.twitter.com/0iUqR13Z8J— Bourbon Capital (@BourbonCap) September 7, 2025

根据资讯科技网站《Tom's Hardware》的报导,在公开的影片中,镜头穿梭于无尘室之间,为了避免短波长光线对光阻剂造成不必要的影响,以确保制程的精准度,此处特别采用黄光照明。

随后映入眼帘的是被称作「银色高速公路」的台积电自动化物料搬运系统,数百个承载着300毫米晶圆的前开式晶圆传输盒(FOUPs)正忙碌地在高架轨道上自动运送,充分展现了在高产量制造(HVM)的环境下,维持生产周期所需的精准物流调度能力。

最令人叹为观止的,莫过于艾司摩尔(ASML)所制造的Twinscan NXE极紫外光(EUV)微影设备,这些机器是生产像是英伟达Blackwell B300等顶尖晶片不可或缺的设备。影片采用了类似电影《奥本海默》的史诗风格,展示了EUV设备如何运用二氧化碳雷射轰击锡液滴以产生电浆,进而将复杂的电路图精准地印制在晶圆上,整个过程中不断闪烁着耀眼的紫色电浆。


此外,这段影片也点明了EUV技术所面临的挑战,包含随机效应(stochastic effects)、必须将精准度控制在奈米等级,以及无法使用传统光学镜片,而必须采用特殊反射镜等问题。

目前,台积电已在Fab 21一期厂为包含苹果、英伟达、超微(AMD)在内的公司生产4奈米与5奈米制程的晶片,并且正积极建设Fab 21二期厂区,预计将具备量产3奈米和2奈米制程晶片的能力。

台积电董事长魏哲家日前表示,公司正积极寻找第二块大型土地,其目标是将亚利桑那州的厂区扩展为单月产能超过10万片的「超级晶圆厂群」(Gigafab cluster),以充分满足全球对于人工智慧(AI)和高效能运算客户的庞大需求。

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